テクノロジーロシアとベラルーシ、130ナノメートルの露光装置試作機を開発

ロシアとベラルーシが、130ナノメートル対応の露光装置の試作機を製造した。ロシアのデニス・マントゥロフ第1副首相は、独自のエキシマレーザーも開発し、ロシアがこの技術を持つ少数の国の一つになったと述べた。電子線リソグラフィーや半導体材料・化学製品の生産も進んでいる。

露光装置半導体ロシアベラルーシ

タタス通信★★★☆☆2026-09-28 11:41元記事