# 俄罗斯与白俄罗斯推出130纳米光刻机原型机

https://mins.news/zh-Hans/item/76973

- 塔斯社, 2026-09-28 11:41 UTC
- 科技
- 原文: https://tass.com/economy/2193913

> 俄罗斯和白俄罗斯已制造出一台130纳米光刻机原型机。俄罗斯第一副总理丹尼斯·曼图罗夫说，俄方还为该设备研发了自主准分子激光器，使俄罗斯成为少数掌握这项技术的国家之一。电子束光刻及芯片材料和化学品生产能力也在持续推进。