# Росія та Білорусь представили прототип літографічної машини на 130 нанометрів

https://mins.news/uk/item/76973

- ТАСС, 2026-09-28 11:41 UTC
- Технології
- Оригінал: https://tass.com/economy/2193913

> Росія та Білорусь виготовили прототип літографічної машини на 130 нанометрів, повідомив перший віцепрем’єр Росії Денис Мантуров. За його словами, для системи також розробили власний ексимерний лазер, що дозволило Росії увійти до вузької групи країн, які володіють цією технологією. Розвиваються також електронно-променева літографія та виробництво матеріалів і хімікатів для чипів.